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中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
地址：河北省邯郸市肥乡区化工工业聚集区纬五路1号
电话：0310-7182716
邮箱：718@pericsg.com

六氟乙烷

化学式：C2F6

纯度规格：5N

用途：清洗、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、光纤

八氟丙烷

化学式：C3F8

纯度规格：5N5

用途：清洗、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

六氟丁二烯

六氟丁二烯

化学式：C4F6

纯度规格：4N

用途：刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

化学式：D2

纯度规格：5N

用途：热处理、光纤抗老化处理

主要应用领域：集成电路（LOGIC/3D NAND）、光纤

六氟化钨

化学式：WF6

纯度规格：6N

用途：沉积

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等

氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等

纯度规格：6N

用途：刻蚀、退火、光刻等

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、显示面板、光纤

氯化氢

化学式：HCl

纯度规格：5N

用途：清洗、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

四氟化硅

化学式：SiF4

纯度规格：5N

用途：沉积

主要应用领域：集成电路（LOGIC）、光纤

八氟环丁烷

八氟环丁烷

化学式：C4F8

纯度规格：5N

用途：清洗、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

氟化氢

化学式：HF

纯度规格：5N

用途：清洗、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

三氟化氮

化学式：NF3

纯度规格：5N

主要用途：清洗、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、显示面板

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