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六氟乙烷

化学式:C2F6
纯度规格:5N
用途:清洗、刻蚀
主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、光纤
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参数

       八氟环丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷等高纯碳氟类气体,纯度均可达5N,主要应用于大规模集成电路制造领域的等离子刻蚀和清洗工艺。

关键词:
六氟乙烷
清洗
刻蚀
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