中船派瑞特气公司

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中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
地址:河北省邯郸市肥乡区化工工业聚集区纬五路1号
电话:0310-7182720
邮箱:pericsg@pericsg.com

序号 团体标准 编号
1 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范 T/ICMTIA 1-2019
2 超纯三氟化氮 T/CCGA 30003-2019
3 电子级氟化氢 T/CCGA 30006-2021
4 电子级碳酰氟 T/CCGA 30005-2021
5 混合气体的分类:氧化性分类 T/CCGA 90003-2020
6 N-苯基-双(三氟甲磺酰)亚胺的测定方法 T/CHBAS 12-2021
7 三氟甲磺酸的测定方法 T/CHBAS 7-2021
8 三氟甲磺酸酐的测定方法 T/CHBAS 8-2021
9 三氟甲磺酸锂中杂质的测定方法 T/CHBAS 10-2021
10 三氟甲磺酸三甲基硅酯的测定方法 T/CHBAS 11-2021
11 双(三氟甲磺酰)亚胺锂中杂质的测定方法 T/CHBAS 9-2021
12 靶材用超高纯钨板 T/CHBAS 17-2022
13 超高纯钨丝 T/CHBAS 18-2022
14 高纯钨部件 T/CHBAS 19-2022
15 集成电路用混合气体 3.5%氩/10ppm氙/氖 T/ICMTIA ESG0013—2022
16 集成电路用混合气体 30%氧/氦 T/ICMTIA ESG0014—2022
17 集成电路用混合气体1.25%氪/氖 T/ICMTIA ESG0012—2022
18 集成电路用气体 氘 T/ICMTIA ESG0015—2022
19 集成电路用混合气体10%甲烷/氩 T/ICMTIA ESG0023—2022
20 集成电路用混合气体 1.2%氦/氮 T/ICMTIA ESG0024—2022
21 集成电路用 氯化氢 T/ICMTIA ESG0026—2022
22 电子工业混合气体的制备 称量法 T/ICMTIA ESG0022—2022
23 高纯气体采样通则 T/ICMTIA ESG0021—2022
24 集成电路用 氯气 T/ICMTIA ESG0025—2022
25 集成电路用 乙硅烷 T/ICMTIA ESG0016—2022
26 集成电路材料产品成熟度等级划分及定义 T/ICMTIA BS0029-2022
27 集成电路材料产品的分类 T/ICMTIA BS0030-2022
28 集成电路用特种气体产品通用规范 T/ICMTIA BS0031-2022
29 电子工业用混合气体 0.52%氮/氦 T/CHBAS 22-2022
30 电子工业用混合气体 1%氧/氩 T/CHBAS 23-2022
31 电子工业用混合气体 2.7%乙烯/氦 T/CHBAS 24-2022
32 电子工业用混合气体 3%氢/氩 T/CHBAS 25-2022
33 电子工业用混合气体 4%氢/氮 T/CHBAS 26-2022
34 电子工业用混合气体 5%氢/氦 T/CHBAS 27-2022
35 集成电路用混合气体 3%氘/氮 T/CHBAS 32-2023
36 集成电路用混合气体 4.5%氯化氢/0.9%氢/氖 T/CHBAS 33-2023
37 集成电路用混合气体 10%氨/氦 T/CHBAS 34-2023
38 集成电路用混合气体 15%氙/氢 T/CHBAS 35-2023
39 集成电路用混合气体 100ppm氢/氖 T/CHBAS 36-2023
40 电子工业用气体 乙炔 T/CHBAS 37-2023
41 电子工业用气体 乙硼烷混合气 T/CHBAS 41-2023
42 电子工业用气体 磷烷混合气 T/CHBAS 42-2023
43 电子工业用气体 氙/氖混合气 T/CHBAS 43-2023
44 电子工业用气体 氧/氮混合气 T/CHBAS 44-2023
45 电子工业用气体 氟气混合气 T/CHBAS 45-2023
46 电子工业用气体 六氟乙烷混合气 T/CHBAS 46-2023
47 电子工业用气体 六氟丙烷 T/CHBAS 47-2023
48 电子工业用气体 五氟乙烷 T/CHBAS 48-2023
49 电子工业用气体 一氟甲烷 T/CHBAS 49-2023
50 电子工业用气体 二氟甲烷 T/CHBAS 50-2023
51 电子工业用气体 氘代氨 T/CHBAS 53-2024
52 电子工业用气体 三氟化氮混合气 T/CHBAS 54-2024
53 双三氟甲基磺酰亚胺钠 T/CHBAS 55-2024
54 双三氟甲基磺酰亚胺锂溶液 T/CHBAS 56-2024
55 三正丁基甲基铵双(三氟甲基磺酰)亚胺和三正丁基甲基铵双
(三氟甲基磺酰)亚胺溶液
T/CHBAS 57-2024
序号 地方标准 编号
1 六氟丁二烯中微量组分的测定 DB 13/T 5296-2020
2 30%氧气、氦气混合气中氧气及杂质的检测 色谱法 DB 13/T 5470-2021
3 3.5%氩气10ppm氙气氖气混合气中杂质的检测 色谱法 DB 13/T 5645-2022
4 电子工业用氟化氢中杂质的测定 色谱法 DB 13/T 5874-2023
5 1.25%氪气/氖气混合气中杂质的测定 色谱法  
6 碳酰氟中杂质的测定  
7 高纯度钨部件性能评价方法  
8 高纯溴化氢中杂质的检测  
9 高纯三氟甲烷中杂质的检测  
10 高纯六氟化钨中杂质的检测  
11 高纯二氟甲烷中杂质的检测  
12 双三氟甲磺酰亚胺锂中杂质的检测  

*以上为部分标准展示