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中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
地址：河北省邯郸市肥乡区化工工业聚集区纬五路1号
电话：0310-7182720
邮箱：pericsg@pericsg.com
电子特气
中船派瑞特气公司具备完善的质量管理体系、生产过程管控和分析检测能力，指标及包装种类可满足客户定制化需求。
电子特气广泛应用于电子产品的加工过程，是半导体制造的关键原材料，被广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺中。
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纯气 |
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序号 |
名称 |
化学式 |
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1 |
三氟化氮 |
NF3 |
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2 |
六氟化钨 |
WF6 |
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3 |
一氟甲烷 |
CH3F |
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4 |
甲烷 |
CH4 |
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5 |
三氟甲烷 |
CHF3 |
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6 |
一氧化碳 |
CO |
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7 |
六氟乙烷 |
C2F6 |
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8 |
乙炔 |
C2H2 |
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9 |
乙烯 |
C2H4 |
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10 |
五氟乙烷 |
C2HF5 |
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11 |
八氟丙烷 |
C3F8 |
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12 |
六氟丙烷 |
C3H2F6 |
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13 |
七氟丙烷 |
C3HF7 |
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14 |
六氟丁二烯 |
C4F6 |
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15 |
八氟环丁烷 |
C4F8 |
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16 |
氘气 |
D2 |
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17 |
氟气 |
F2 |
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18 |
溴化氢 |
HBr |
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19 |
氯化氢 |
HCl |
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20 |
氟化氢 |
HF |
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21 |
氘代氨 |
ND3 |
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22 |
三氯化硼 |
BCl3 |
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23 |
氨气 |
NH3 |
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24 |
四氟化硅 |
SiF4 |
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25 |
二氧化硫 |
SO2 |
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26 |
乙硅烷 |
Si2H6 |
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27 |
二氟甲烷 |
CH2F2 |
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28 |
氩气 |
Ar |
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29 |
氦气 |
He |
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30 |
氪气 |
Kr |
|
31 |
氖气 |
Ne |
|
32 |
氮气 |
N2 |
|
33 |
硅烷 |
SiH4 |
|
34 |
氙气 |
Xe |
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混气
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序号
|
名称
|
化学式
|
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1
|
氩氙氖混合气
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(Ar/Xe/Ne)
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2
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乙硼烷氩气混合气
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(B2H6/Ar)
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3
|
乙硼烷氢气混合气
|
(B2H6/H2)
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|
4
|
乙硼烷氦气混合气
|
(B2H6/He)
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|
5
|
乙硼烷氮气混合气
|
(B2H6/N2)
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|
6
|
甲烷氩气混合气
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(CH4/Ar)
|
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7
|
六氟乙烷氧气混合气
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(C2F6/O2)
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8
|
乙烯氦气混合气
|
(C2H4/He)
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9
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丙烷、一氧化碳、二氧化碳、一氧化氮混合气氮气稀释气
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C3H8/CO/CO2/NO,N2为平衡气
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|
10
|
氘氮混合气
|
(D2/N2)
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11
|
氟氩氖混合气
|
(F2/Ar/Ne)
|
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12
|
氟氦混合气
|
(F2/He)
|
|
13
|
氟氪氖混合气
|
(F2/Kr/Ne)
|
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14
|
氟氮混合气
|
(F2/N2)
|
|
15
|
氟氖混合气
|
(F2/Ne)
|
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16
|
氯化氢氢气氖气混合气
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(HCl/H2/Ne)
|
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17
|
氦氮混合气
|
(He/N2)
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18
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氢氩混合气
|
(H2/Ar)
|
|
19
|
氢氦混合气
|
(H2/He)
|
|
20
|
氢氮混合气
|
(H2/N2)
|
|
21
|
氢氖混合气
|
(H2/Ne)
|
|
22
|
氪氖混合气
|
(Kr/Ne)
|
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23
|
三氟化氮氩气混合气
|
(NF3/Ar)
|
|
24
|
氨气氦气混合气
|
(NH3/He)
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25
|
二氧化氮氮气混合气
|
(NO2/N2)
|
|
26
|
氮氦混合气
|
(N2/He)
|
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27
|
氧氦混合气
|
(O2/He)
|
|
28
|
氧氮混合气
|
(O2/N2)
|
|
29
|
磷烷氩气混合气
|
(PH3/Ar)
|
|
30
|
磷烷氢气混合气
|
(PH3/H2)
|
|
31
|
磷烷氦气混合气
|
(PH3/He)
|
|
32
|
磷烷氮气混合气
|
(PH3/N2)
|
|
33
|
二氧化硫氮气混合气
|
(SO2/N2)
|
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34
|
氙氢混合气
|
(Xe/H2)
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35
|
氙氖混合气
|
(Xe/Ne)
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*以上产品包含正在建设电子特气产品
含氟新材料系列产品
中船派瑞特气公司含氟新材料系列产品已销往全球多个国家，赢得行业知名客户的认可。基于电解氟化工艺，公司研发生产了三氟甲磺酸系列产品，产品广泛应用于锂电池、医药、偏光片等行业。
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名称
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化学式
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CAS号
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三氟甲磺酸
|
CF₃SO₃H | 1493-13-6 |
|
三氟甲磺酸酐
|
(CF₃SO₂)₂O
|
358-23-6 |
|
三氟甲磺酸三甲基硅酯
|
C₄H9F₃O₃SSi | 27607-77-8 |
| N-苯基（双三氟甲磺酰）亚胺 |
N-Phenylbis
|
37595-74-7 |
|
双三氟甲磺酰亚胺锂
|
LiTFSI | 90076-65-6 |
|
双三氟甲磺酰亚胺
|
C₂HF6NO₄S₂
|
82113-65-3 |
|
三氟甲磺酸锂
|
LiCF₃SO₃ | 33454-82-9 |
|
三氟甲磺酸钠
|
CF3NaO3S | 2926-30-9 |
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三氟甲磺酸钾
|
CF3KO3S | 2926-27-4 |
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双三氟甲基磺酰亚胺钠
|
NaTFSI
|
91742-21-1 |
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三正丁基甲基铵双（三氟甲基磺酰）亚胺
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(C₄H9)₃NCH₃
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405514-94-5 |
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(CF₃SO₂)₂N
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高纯金属
高纯金属主要应用于离子注入设备、核工业、稀土冶炼、蓝宝石等行业。
成熟产品：高纯钨系列
