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中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
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电话:0310-7182720
邮箱:pericsg@pericsg.com

六氟乙烷

化学式:C2F6

纯度规格:5N

用途:清洗、刻蚀

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、光纤

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八氟丙烷

化学式:C3F8

纯度规格:5N5

用途:清洗、刻蚀

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)

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六氟丁二烯

化学式:C4F6

纯度规格:4N

用途:刻蚀

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)

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八氟环丁烷

化学式:C4F8

纯度规格:5N

用途:清洗、刻蚀

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)

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