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氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等
纯度规格:6N
用途:刻蚀、退火、光刻等
主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、显示面板、光纤
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