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氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等

纯度规格:6N
用途:刻蚀、退火、光刻等
主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、显示面板、光纤
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参数

       混合气主要应用于大规模集成电路和显示面板制造过程中的光刻、退火等多个工艺,基于自身掌握的纯化和混配技术,混合气产品组分纯度可达6N,结合客户的个性化需求,目前已实现30余种电子混合气的量产供应。

       包括:氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等。

关键词:
氦氮混气
氙氢混气
氧氦混气
氪氖混气
氩氙氖混气
刻蚀
退火
光刻
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