氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等
纯度规格：6N
用途：刻蚀、退火、光刻等
主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、显示面板、光纤
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产品详情
混合气主要应用于大规模集成电路和显示面板制造过程中的光刻、退火等多个工艺，基于自身掌握的纯化和混配技术，混合气产品组分纯度可达6N，结合客户的个性化需求，目前已实现30余种电子混合气的量产供应。
包括：氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等。
以品质为基石，开拓全球市场
目前，派瑞特气公司拥有单条年产能超过3000吨的高纯三氟化氮气体生产线，拥有高纯六氟化钨规模化生产线，拥有三氟甲磺酸系列产品研发生产基地，建设了高纯钨制品中试生产线，实现了企业大宗制气的技术突破，已成为国内特气行业产品系列丰富、生产能力大、市场覆盖面和占有率高、持续创新能力强的企业。
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公司主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、生产和销售，主要产品包括高纯三氟化氮、高纯六氟化钨、高纯氯化氢、高纯氟化氢、高纯四氟化硅、高纯氘气、高纯六氟丁二烯、高纯八氟环丁烷、高纯电子混合气等电子特种气体，以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、双（三氟甲磺酰）亚胺锂等含氟新材料。
