八氟丙烷
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八氟丙烷

化学式:C3F8

纯度规格:5N5

用途:清洗、刻蚀

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)

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八氟环丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷等高纯碳氟类气体,纯度均可达5N,主要应用于大规模集成电路制造领域的等离子刻蚀和清洗工艺。

以品质为基石,开拓全球市场

目前,派瑞特气公司拥有单条年产能超过3000吨的高纯三氟化氮气体生产线,拥有高纯六氟化钨规模化生产线,拥有三氟甲磺酸系列产品研发生产基地,建设了高纯钨制品中试生产线,实现了企业大宗制气的技术突破,已成为国内特气行业产品系列丰富、生产能力大、市场覆盖面和占有率高、持续创新能力强的企业。

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公司主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、生产和销售,主要产品包括高纯三氟化氮、高纯六氟化钨、高纯氯化氢、高纯氟化氢、高纯四氟化硅、高纯氘气、高纯六氟丁二烯、高纯八氟环丁烷、高纯电子混合气等电子特种气体,以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、双(三氟甲磺酰)亚胺锂等含氟新材料。


六氟化钨

化学式:WF6

纯度规格:6N

用途:沉积

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)


氯化氢

化学式:HCl

纯度规格:5N

用途:清洗、刻蚀

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)


氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等

纯度规格:6N

用途:刻蚀、退火、光刻等

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、显示面板、光纤


三氟化氮

化学式:NF3

纯度规格:5N

主要用途:清洗、刻蚀

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、 显示面板