大宗气体的介绍
电子大宗气体是半导体等电子信息产业中用量大、供应连续的基础性气体，包括氮气、氧气、氩气、氢气、氦气等。它们在芯片制造的沉积、刻蚀、清洗等环节不可或缺，纯度要求极高（通常达99.99%以上），其稳定供应和质量直接影响电子器件性能与生产效率，是电子信息产业链的关键支撑要素。
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