电子特种气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”，在微电子和光电子器件的生产过程中，从芯片生长到最终器件封装，几乎每一个步骤和环节都离不开电子气，因此电子气被称为半导体材料的“食物”和“来源”，电子气体成本占IC材料总成本的5%-6%，虽然看似占比不大，但是很大程度上决定了半导体器件性能的好坏，电子气体纯度每提高一个数量级,都会极大地推动半导体器件质的飞跃。

　　电子特种气体广泛应用于半导体、微电子及相关太阳能电池等高科技行业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化和清洗，或用作载气、保护气氛等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的的净化愈加关键和重要。目前国内的超高纯度净化技术主要依赖进口，自身的技术水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大差距。本项目将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新型纳米净化剂，对MO源、惰性气体、氢化物气体、反应性气体、腐蚀性气体等5个系列，50多种电子特气进行末端净化，使电子特气纯度由ppm级提高到ppb、ppt级，并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小，从而极大地改善工艺能力，降低产品缺陷， 提高制程的产量，满足下一代半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。本项目将形成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技术，解决超高纯度电子特气净化这一核心技术的国产化问题。

　　电子特种气体是仅次于硅片的第二大第二大半导体材料市场需求2016年电子气国内市场需求为48.02亿，占比14%。特种电子气体高端产品被国外垄断。该领域主要生产厂家有美国气体化工、美国普莱克斯、日本昭和电工、德国林德集团、法国液化空气、日本酸素，市场份额合计85%。据全球半导体协会统计，纯电子气体有60多种，混合气体有80多种，据业内不完全统计，2012-2016年，国内电子气企业实际产销量占国内晶圆制造用电子气市场需求的比例从3.8%上升到25.0%。虽然国内电子气的比重大幅提高，但其总产量仍不能满足国内市场需求，电子特种气体的品种和产量亟待提高。

　　在整个行业供应链中，气体原料、设备、运输和客户非常重要，是气体供应商的利润来源。现在气体产品种类繁多，客户对气体产品的需求多样化，往往在某个终端产品的制造中需要几十种以上的气体。