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中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
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松原八氟环丁烷

化学式：C4F8

纯度规格：5N

用途：清洗、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

类别：

松原碳氟类气体

产品描述

八氟环丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷等高纯碳氟类气体，纯度均可达5N，主要应用于大规模集成电路制造领域的等离子刻蚀和清洗工艺。

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