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中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
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龙岩四氟化硅

化学式：SiF4

纯度规格：5N

用途：沉积

主要应用领域：集成电路（LOGIC）、光纤

类别：

龙岩无机类气体

产品描述

四氟化硅纯度可达5N，主要应用于大规模集成电路制造中有机硅化合物的合成、离子注入工艺掺杂剂及化学气相沉积工艺。

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