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中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
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焦作六氟化钨

化学式：WF6

纯度规格：6N

用途：沉积

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

类别：

焦作主要气体

产品描述

高纯六氟化钨主要应用于大规模集成电路化学气相沉积工艺，其沉积形成的钨导体膜可用作通孔和接触孔的互连线，具有低电阻、高熔点的特点，纯度一般需要达到5N，公司已实现6N级六氟化钨的量产，凭借优异的产品品质，多年来稳定供应境内外集成电路和显示面板知名客户，客户覆盖广泛。

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